|
|
Vliv pracovních podmínek na velikost signálu získaného pomocí BSE detektoru
Bednář, Eduard ; Zimáková, Jana (oponent) ; Čudek, Pavel (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá zhodnocením kvality signálu zpětně odražených elektronů detekovaných scintilačním detektorem v závislosti na nastavených pracovních podmínkách v nízkovakuovém rastrovacím elektronovém mikroskopu. V teoretické části práce je popsána problematika enviromentální rastrovací elektronové mikroskopie, princip vzniku signálů a detekce zpětně odražených elektronů. Cílem experimentální části práce je měření vlastností scintilačního detektoru zpětně odražených elektronů. Sérií experimentů je vyhodnocován vliv pracovních podmínek na stabilitu a funkci detektoru zpětně odražených elektronů.
|
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM
Čudek, Pavel ; Kadlec, Jaromír (oponent) ; Rek, Antonín (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Práce se zabývá problematikou scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop, včetně jeho návrhu a konstrukce. Východiskem bylo modelování elektrostatických polí v elektrodovém systému detektoru, pohybu elektronů v těchto polích a simulace rozložení tlaků a proudění plynů v jednotlivých částech detektoru. Na základě provedených simulací byly postupně realizovány konstrukční úpravy detektoru. Detekční účinnost jednotlivých verzí detektoru byla určena v práci popsanou metodou vyhodnocování velikosti signálu z pořízených snímků, kvalita snímků byla stanovena z poměru signálu k šumu. V práci je popsán celý postup při úpravách detektoru, od počátečního stavu, kdy detektor pracoval v rozsahu tlaku 300 – 900 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu s nižší účinností, až po finální verzi detektoru umožňující jeho použití v rozmezí tlaků menších než 10-1 Pa do 1000 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu.
|
|
|
Detekce signálních elektronů v prostředí vysokého tlaku plynů environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu
Neděla, Vilém ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Disertační práce se zabývá studiem vlastností nového systému pro detekci pravých sekundárních a zpětně odražených elektronů v podmínkách vysokého tlaku plynů komory vzorku nově postaveného environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu AQUASEM II. Detekční systém obsahuje tři detektory. Poprvé je představen a podrobně popsán princip činnosti ionizačního detektoru s elektrostatickým separátorem, který je v řadě experimentů porovnáván s ionizačním detektorem SE. Experimentálně jsou prokázány unikátní vlastnosti tohoto detekčního systému, zejména schopnost energiové separace detekovaných signálních elektronů. Pro různé pracovní podmínky jsou také analyzovány úrovně signálů detekovaných BSE YAG detektorem, koncipovaným jako součást nového detekčního systému a pracujícím v součinnosti s oběma ionizačními detektory.
|
|
|
Scintilační detektor SE pro EREM
Tihlaříková, Eva ; Neděla, Vilém (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie (EREM). Využití této metody umožňuje sledování nevodivých a vlhkých vzorků bez potřeby speciálních úprav vysoušením a pokovováním. Princip spočívá v použití vyššího tlaku v komoře vzorku, pohybujícího se v rozsahu 100 až 2000 Pa. Plyn v komoře vzorku však omezuje možnosti detekce signálu. Cílem této práce je prozkoumání možnosti ovlivnění detekce signálu sekundárních elektronů pomocí elektrostatického pole. Elektrostatické pole bylo realizováno soustavou čtyř elektrod umístěných před ústí scintilačního detektoru a mělo za úkol ovlivňovat dráhy sekundárních elektronů směrem do komory detektoru. Optimalizace napětí na elektrodách byla provedena pomocí simulačního programu SIMION. Výsledky simulací byly experimentálně ověřeny na laboratorním EREM.
|
|
| |
|
| |
|
|
Zobrazování nevodivých vzorků pomocí nízkoenergiových zpětně odražených elektronů v SEM
Wandrol, Petr
Článek se zabývá problémy zobrazování nevodivých vzorků v SEM, které jsou způsobovány především jejich nabíjením. Použití nízké energie primárního svazku a pozorování pomocí zpětně odražených elektronů bylo navrženo pro potlačení nábojových artefaktů v obraze. Dále je popsán nově vyvinutý detektor zpětně odražených elektronů pro nízkoenrgiovou SEM a jsou prezentovány obrázky nepokovených nevodivých vzorků bez nábojových artefaktů pořízené tímto detektorem.
|
|
| |
|
|
Detekce zpětně odražených elektronů v nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopii
Wandrol, Petr
Tato práce se zabývá řešením problému detekce zpětně odražených elektronů při urychlovacím napětí nižším než 3 kV scintilačním detektorem. Při takto nízkém urychlovacím napětí, a tudíž malé energii zpětně odražených elektronů, produkují scintilační monokrystaly velmi nízký počet fotonů a obraz získaný scintilačním detektorem zpětně odražených elektronů je nekvalitní. Proto je nutné, pokud chceme získat obraz materiálového kontrastu, dodat zpětně odraženým elektronům energii potřebnou pro vytvoření dostatečného množství fotonů a zároveň elektromagnetickým polem odklonit sekundární elektrony, které přinášejí do obrazu nepříznivý vliv topografického kontrastu.
|
|
| |
host ::
RSS.