Název: High Resolution Imaging by Means of Backscattered Electrons in the Scanning Electron Microscope
Překlad názvu: Zobrazování s vysokým rozlišením pomocí zpětně odražených elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu
Autoři: Wandrol, Petr ; Matějková, Jiřina ; Rek, Antonín
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: MSMF5 - Materials Structure and Micromechanics of Fracture /5./, Brno (CZ), 2007-06-27 / 2007-06-29
Rok: 2007
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
Article deals with the high resolution imaging by means of backscattered electrons (BSE) in the scanning electron microscope. Various systems for the detection of backscattered electrons are outlined. Special attention is paid to the scintillation BSE detector with YAG single crystal scintillator. Finally, high resolution images of various samples taken by this detector are presented. Článek se zabývá vysokorozlišovacím zobrazováním pomocí zpětně odražených elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Jsou nastíněny různé detekční systémy zpětně odražených elektronů. Zvláštní pozornost je věnována scintilačnímu BSE detektoru s monokrystalickým scintilátorem YAG. Na závěr jsou prezentovány obrázky různých vzorků o vysokém rozlišení pořízené tímto detektorem.
Klíčová slova: backscattered electrons; high resolution; scanning electron microscopy; scintillation detector
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA202/05/0607 (CEP), KJB200650501 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR, GA AV ČR
Zdrojový dokument: 5th International Conference on Materials Structure and Micromechanics of Fracture. Abstract booklet, ISBN 978-80-214-3434-9

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0152894

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-37993


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference