Název: Scintilační detektor SE pro EREM
Překlad názvu: Scintillation SE Detector for Variable Pressure SEM
Autoři: Tihlaříková, Eva ; Neděla, Vilém (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok: 2009
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Tato práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie (EREM). Využití této metody umožňuje sledování nevodivých a vlhkých vzorků bez potřeby speciálních úprav vysoušením a pokovováním. Princip spočívá v použití vyššího tlaku v komoře vzorku, pohybujícího se v rozsahu 100 až 2000 Pa. Plyn v komoře vzorku však omezuje možnosti detekce signálu. Cílem této práce je prozkoumání možnosti ovlivnění detekce signálu sekundárních elektronů pomocí elektrostatického pole. Elektrostatické pole bylo realizováno soustavou čtyř elektrod umístěných před ústí scintilačního detektoru a mělo za úkol ovlivňovat dráhy sekundárních elektronů směrem do komory detektoru. Optimalizace napětí na elektrodách byla provedena pomocí simulačního programu SIMION. Výsledky simulací byly experimentálně ověřeny na laboratorním EREM. This project deals with the theme of environmental scanning electron microscopy (EREM). This method allows the examination of insulators and wet specimens without pretreatment and modification like drying and metallization. The principle of this method consists in using higher pressure in a specimen chamber. The pressure is within the range of 100 – 200 Pa. However, the pressure in the specimen chamber restricts the signal detection interference. The objective of the work is to explore the possibility of interference in secondary electron route detection by way of electrostatic field. The electrostatic field was realized with the system consisting of four electrodes located in front of the scintillation detector. It should have interfered the secondary electron´s trajectory to the detector chamber. The optimization of voltage on the electrodes was made by simulation program called SIMION. The simulation results were experimentally verified with laboratory EREM.
Klíčová slova: detekce signálu; Environmentální rastrovací elektronový mikroskop; primární elektrony; scintilační detektor; sekundární elektrony; zpětně odražené elektrony; backscattered electrons; Environmental scanning electron microscopy; primary electrons; scintillation detector; secondary electrons; signal detection

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/7406

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-217869


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Diplomové práce