Název: Imaging of Non-Conductive Samples by Means of Low Energy Backscattered Electrons in SEM
Překlad názvu: Zobrazování nevodivých vzorků pomocí nízkoenergiových zpětně odražených elektronů v SEM
Autoři: Wandrol, Petr
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Multinational Congress on Microscopy /8./, Prague (CZ), 2007-06-17 / 2007-06-21
Rok: 2007
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
Article deals with the problems of imaging of non-conductive samples in the SEM that are caused mainly by charging. Use of the low primary beam energy and the observation by means of backscattered electrons are proposed as methods of suppression of charging artifacts in the image. Newly developed detector of backscattered electrons for the low energy SEM is described and images of uncoated non-conductive samples without charging artifacts taken by this detector are presented. Článek se zabývá problémy zobrazování nevodivých vzorků v SEM, které jsou způsobovány především jejich nabíjením. Použití nízké energie primárního svazku a pozorování pomocí zpětně odražených elektronů bylo navrženo pro potlačení nábojových artefaktů v obraze. Dále je popsán nově vyvinutý detektor zpětně odražených elektronů pro nízkoenrgiovou SEM a jsou prezentovány obrázky nepokovených nevodivých vzorků bez nábojových artefaktů pořízené tímto detektorem.
Klíčová slova: backscattered electrons; charging; low energy SEM; non-conductive samples
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), KJB200650501 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy, ISBN 978-80-239-9397-4

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0152714

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-37969


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference