Název: Angular distribution of backscattered electrons signal in Environmental Scanning Electron Microscopy
Překlad názvu: Angular distribution of backscattered electrons signal in Environmental Scanning Electron Microscopy
Autoři: Wandrol, Petr
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Elektrotechnika a informatika 2002, Zámek Nečtiny (CZ), 2002-10-23 / 2002-10-24
Rok: 2002
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Cílem této práce bylo ověřit vliv prostorového úhlu sběru na velikost detekovaného signálu. Uvedené výsledky měření byly získány pozorováním vzorku uhlíku pokrytého tenkou vrstvou zlata. Urychlovací napětí primárního svazku bylo 20 kV. Prostorový úhel sběru byl změněn pomocí aplikace hliníkových vrstev s průměrem clon 2,3,4,8,16 mm připevněných na scintilátor. Jako pracovní prostředí v komoře vzorku byl použit vzduch a nasycené vodní páry. The aim of this work was to verify an influence of the collection solid angle on a magnitude of detected signal. The presented results of measurement were gained by an observation of the specimen of carbon covered with a thin layer of gold. The primary beam accelerating voltage was 20kV. The collection solid angle was changed by application of aluminium masks with aperture diameters 2,3,4,8,16 mm mounted on scintillator. As a working environment in the specimen chamber air and saturated water vapour were used.
Klíčová slova: backscattered electrons; detection; solid angle
Číslo projektu: GA102/01/1271 (CEP), IBS2065107 (CEP), CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR, GA AV ČR
Zdrojový dokument: 3. ročník přehlídky doktorských prací Elektrotechnika a informatika 2002, ISBN 80-7082-904-4

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101285

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29601


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference