Název: Detekce signálních elektronů v prostředí vysokého tlaku plynů environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu
Překlad názvu: Detection of Signal Electrons in High Pressure Conditions in Environmental Scanning Electron Microscopy
Autoři: Neděla, Vilém ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Disertační práce
Rok: 2008
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Disertační práce se zabývá studiem vlastností nového systému pro detekci pravých sekundárních a zpětně odražených elektronů v podmínkách vysokého tlaku plynů komory vzorku nově postaveného environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu AQUASEM II. Detekční systém obsahuje tři detektory. Poprvé je představen a podrobně popsán princip činnosti ionizačního detektoru s elektrostatickým separátorem, který je v řadě experimentů porovnáván s ionizačním detektorem SE. Experimentálně jsou prokázány unikátní vlastnosti tohoto detekčního systému, zejména schopnost energiové separace detekovaných signálních elektronů. Pro různé pracovní podmínky jsou také analyzovány úrovně signálů detekovaných BSE YAG detektorem, koncipovaným jako součást nového detekčního systému a pracujícím v součinnosti s oběma ionizačními detektory. The thesis deals with the study of properties of a new system for detection of true secondary and backscattered electrons in high pressure conditions of the specimen chamber of a newly built environmental scanning electron microscope AQUASEM II. Detection system contains three detectors. For the first time is introduced and analyzed the working principle of ionisation detector with electrostatic separator, which is in many experiments compared with ionisation detector of secondary electrons. Experimentally demonstrated are unique properties of this detection system, especially the ability of energy separation of detected signal electrons. For the various working conditions are also analyzed signal levels detected by the BSE YAG detector, which is designed as a part of the new detection system and which worked together with both ionisation detectors.
Klíčová slova: AQUASEM II; detekční systémy; Environmentální rastrovací elektronová mikroskopie; ISEDS; sekundární elektrony; zpětně odražené elektrony; AQUASEM II; backscattered electrons; detection systems; Environmental scanning electron microscopy; ISEDS; secondary electrons

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/21794

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-233420


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Disertační práce