Název:
Collection contrast in the immersion objective lens of the scanning electron microscope
Autoři:
Müllerová, Ilona ; Konvalina, Ivo ; Mika, Filip Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /13./, Skalský dvůr (CZ), 2012-06-25 / 2012-06-29
Rok:
2012
Jazyk:
eng
Abstrakt: Signal trajectories of secondary (SE) and backscattered electrons (BSE) were simulated for two cases: an immersion magnetic objective lens (OL) alone and for the case when an electrostatic immersion objective lens is added. Micrographs of a semiconductor structure are presented for these two set-ups.
Klíčová slova:
backscattered electrons; cathode lens; scanning electron microscope; secondary electrons Číslo projektu: FR-TI3/323 (CEP) Poskytovatel projektu: GA MPO Zdrojový dokument: Proceedings of the 13th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-87441-07-7
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0210780