| |
|
Adaptation of scanning electron microscope to environmental scanning electron microscope
Neděla, Vilém
This paper deals with adaptation of the scanning electron microscope (SEM) to the environmental scanning electron microscope (ESEM). It focuses especially to the construction and assembly of the differential pumping chamber together with the detector board of the differential pumping chamber and it comments reasons of necessity of the assembly of these parts in the environmental scanning electron microscope.
|
| |
|
Dispersion and detection of signal electrons in environmental SEM
Romanovský, V. ; Neděla, Vilém ; Hutař, O.
The environmental scanning microscope is based on convenient adaptation of classical SEM employing the focused primary electron beam. For the proper function of the electron gun the pressure in this part of the microscopemust be less than 10.sup.-3./sup. Pa. The working pressure in the specimen chamber in environmental microscope reaches the order of hundreds of Pa.Therefore, the effective vacuum separation of these two parts is necessary. This can be obtained by the use of two or more apertures limiting the gas flow. It is also necessary to evacuate the space between the apertures by a vacuum pump of a high pumping speed. The increasing of pressure in the specimen chamber brings some difficulties, especially the dispersion of signal electrons by the influence of interaction with the gaseous environment.
|
| |
|
Influence of magnetic field upon detection in environmental SEM
Romanovský, Vladimír ; Neděla, Vilém
The single-pole magnetic lens has been constructed and placed co-axially with the beam of primary electrons below the specimen holder. A scheme of its configuration is shown in Figure 1. The lens had to be designed with consideration to the size of space available in the specimen chamber. The situation was complicated by the necessity of placing a magnet below the specimen holder. For this reason the height of 30 mm and diameter of 55 mm of the magnetic lens were chosen. The dependency of induction B on the current I through the magnet was measured by a T-meter.
|
| |
| |
|
Optimalizace podmínek hydratace v ESEM
Autrata, Rudolf ; Neděla, Vilém
Studium biologických vzorků s jemnou a velmi jemnou povrchovou strukturou je neustále velký problém, protože tato struktura může být lehce poškozena dehydratací, především v počáteční fázi čerpání mikroskopu. Pozornost je zde kladena na nastavení optimálních podmínek pro celkovou hydrataci vzorku, zajišťující naturální stav vzorku, především v průběhu počáteční fáze čerpání ESEM
|
|
Měření a nastavování vlhkosti v Environmnetálním rastrovacím elektronovém mikroskopu
Autrata, Rudolf ; Jirák, Josef ; Neděla, Vilém ; Špinka, J.
Při detekci signálních elektronů v ESEM je vhodné použít vodní páry v komoře vzorku mikroskopu. Nejvhodnější je použití nasycené vodní páry (relativní vlhkost 100%). Toto prostředí je také vhodné pro pozorování vzorků které obsahují vodu, Při čerpání komory vzorku mikroskopu na parcovní tlak (typicky okolo 100Pa), může dojít k odpařování vody ze vzorku, nebo naopak ke kondenzaci vodních par na vzorku. To znamená, že v některých případech nezůstává vzorek v původním stavu. Proto se snažíme nastavovat a řídit čerpací proces tak aby byla minimalizována deformace pozorovaných vzorků
|