Název: Influence of the gas used on amplification of signals in environmental SEM
Autoři: Romanovský, Vladimír ; Neděla, Vilém ; Autrata, Rudolf
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Recent trends in charged particle optics and surface physics instrumentation, Skalský dvůr (CZ), 2002-07-08 / 2002-07-12
Rok: 2002
Jazyk: eng
Abstrakt: Commercially available Environmental and Low Vacuum scanning electron microscopy permits a low pressure of gas in the specimen chamber. These instruments are possible to be used for observing of uncoated nonconductive or pure conductive or water containing specimens without the necessary dryingand using other special preparation techniques. Contemporarily, these microscopes come in use mainly in biology, medicine, as well as in the semiconductor industry.
Klíčová slova: low pressure; water containing speciments
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), GA102/01/1271 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 8.sup.th./sup. international seminar, held in Skalský dvůr, ISBN 80-238-8986-9

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101124

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29557


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference