Název:
Influence of the cross-section of gas molecules upon detection on the environmental SEM
Autoři:
Neděla, Vilém ; Romanovský, Vladimír Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: CSEM, Vranovská Ves (CZ), 2002-02-08 / 2002-02-09
Rok:
2002
Jazyk:
eng
Abstrakt: Environmental scanning electron microscopy exploits presence of gas or water vapour in the specimen chamber. Molecules of the gaseous environment can be ionised by electrons, which can compensate the surface charge on thespecimen (at the pressure approx. 200 Pa). At higher pressure of gases and water vapour in the specimen chamber (more than 609 Pa) specimens with content of water can be observed.
Klíčová slova:
SEM; specimen chamber Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), IBS2065107 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR Zdrojový dokument: Proceedings of the 2nd annual meeting of the Czechoslovak microscopy society, ISBN 80-238-8749-1
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101101