Název: Adaptation of scanning electron microscope to environmental scanning electron microscope
Autoři: Neděla, Vilém
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: STUDENT EEICT 2003, Brno (CZ), 2003-04-24
Rok: 2003
Jazyk: eng
Abstrakt: This paper deals with adaptation of the scanning electron microscope (SEM) to the environmental scanning electron microscope (ESEM). It focuses especially to the construction and assembly of the differential pumping chamber together with the detector board of the differential pumping chamber and it comments reasons of necessity of the assembly of these parts in the environmental scanning electron microscope.
Klíčová slova: detector; differential pumping chamber; scanning electron microscope
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), GA102/01/1271 (CEP), IBS2065107 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR, GA AV ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 9th Conference and Competition Student EEICT 2003 - Papers written by postgraduate students, ISBN 80-214-2379-X

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101277

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29595


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference