Název: Dispersion and detection of signal electrons in environmental SEM
Autoři: Romanovský, V. ; Neděla, Vilém ; Hutař, O.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Recent trends in charged particle optics and surface physics instrumentation, Skalský dvůr (CZ), 2002-07-08 / 2002-07-12
Rok: 2002
Jazyk: eng
Abstrakt: The environmental scanning microscope is based on convenient adaptation of classical SEM employing the focused primary electron beam. For the proper function of the electron gun the pressure in this part of the microscopemust be less than 10.sup.-3./sup. Pa. The working pressure in the specimen chamber in environmental microscope reaches the order of hundreds of Pa.Therefore, the effective vacuum separation of these two parts is necessary. This can be obtained by the use of two or more apertures limiting the gas flow. It is also necessary to evacuate the space between the apertures by a vacuum pump of a high pumping speed. The increasing of pressure in the specimen chamber brings some difficulties, especially the dispersion of signal electrons by the influence of interaction with the gaseous environment.
Klíčová slova: electron beam; environmental scanning microscope; vacuum pump
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), IBS2065107 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 8.sup.th./sup. international seminar, held in Skalský dvůr, ISBN 80-238-8986-9

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101125

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29558


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference