Název: Construction of differential pumping chamber with detector board for adaptation of scanning electron microscope working in high pressure
Autoři: Neděla, Vilém
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: STUDENT EEICT 2003, Brno (CZ), 2003-04-24
Rok: 2003
Jazyk: eng
Abstrakt: This paper deals with adaptation of the scanning electron microscope (SEM) to the environmental scanning electron microscope (ESEM). ESEM allows work at higher pressure in some parts of the microscope. It focuses especially to the construction and assembly of the differential pumping chamber together with the detector board of the differential pumping chamber and it comments reasons of necessity of the assembly of these parts in the environmental scanning electron microscope.
Klíčová slova: detector; detector board; differential pumping chamber
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), GA102/01/1271 (CEP), IBS2065107 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR, GA AV ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the International Conference and Competition Student EEICT 2003, ISBN 80-214-2401-X

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101278

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29596


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference