Název: Studium mikrokristalického křemíku pomocí kombinovaného AFM mikroskopu
Překlad názvu: Study of microcrystalline silicon by combined AFM microscope
Autoři: Mates, Tomáš ; Fejfar, Antonín ; Rezek, Bohuslav ; Fojtík, Petr ; Drbohlav, Ivo ; Luterová, Kateřina ; Pelant, Ivan ; Kočka, Jan
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Konference českých a slovenských fyziků /14./, Plzeň (CZ), 2002-09-09 / 2002-09-12
Rok: 2002
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
V příspěvku jsou prezentovány aktuální výsledky z kombinovaného AFM a ja ukázána souvislodt mezi mikrostrukturou a mikroelektrickými vlastnostmi. Recent results by combined AFM (topography and local conductivity) and correlation between microstructure and electrical properties of thin silicon films.
Klíčová slova: atomic force microscopy; silicon; thin films
Číslo projektu: CEZ:AV0Z1010914 (CEP), IAA1010809 (CEP), IAB2949101 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR, GA AV ČR
Zdrojový dokument: Sborník příspěvků. Konference českých a slovenských fyziků /14./, ISBN 80-7082-907-9

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0032288

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-21894


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference