Original title: Studium mikrokristalického křemíku pomocí kombinovaného AFM mikroskopu
Translated title: Study of microcrystalline silicon by combined AFM microscope
Authors: Mates, Tomáš ; Fejfar, Antonín ; Rezek, Bohuslav ; Fojtík, Petr ; Drbohlav, Ivo ; Luterová, Kateřina ; Pelant, Ivan ; Kočka, Jan
Document type: Papers
Conference/Event: Konference českých a slovenských fyziků /14./, Plzeň (CZ), 2002-09-09 / 2002-09-12
Year: 2002
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
V příspěvku jsou prezentovány aktuální výsledky z kombinovaného AFM a ja ukázána souvislodt mezi mikrostrukturou a mikroelektrickými vlastnostmi. Recent results by combined AFM (topography and local conductivity) and correlation between microstructure and electrical properties of thin silicon films.
Keywords: atomic force microscopy; silicon; thin films
Project no.: CEZ:AV0Z1010914 (CEP), IAA1010809 (CEP), IAB2949101 (CEP)
Funding provider: GA AV ČR, GA AV ČR
Host item entry: Sborník příspěvků. Konference českých a slovenských fyziků /14./, ISBN 80-7082-907-9

Institution: Institute of Physics AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0032288

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-21894


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Physics
Conference materials > Papers