Název: Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese
Překlad názvu: Measurement of mechanical properties of thin films by nanocompression
Autoři: Kuběna, Ivo ; Kruml, Tomáš ; Hutař, Pavel ; Boháč, Petr ; Stranyánek, Martin ; Čtvrtlík, Radim ; Pánek, P. ; Vystavěl, T.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Vrstvy a povlaky 2008, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 2008-09-29 / 2008-09-30
Rok: 2008
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Technikou fokusovaných iontových byly připraveny malé kompresní válcové vzorky z tenké vrstvy Al-1.5%Cu. Tyto vzorky byly deformovány v kompresi s použitím nanoindentoru a plochého diamantového hrotu. Byly tak získány závislosti napětí-deformace s poměrně vysokou přesností. Mechanical properties of thin films are not easy to be measured. This is particularly true in the case of plastic properties as the yield point, the work hardening rate or the ultimate stress. Nevertheless, such parameters are needed e.g. in the design of integrated circuits where the thermal stresses may lead to mechanical failure of the component. We applied two modern experimental facilities, the focused ion beam and the nanoindentation for exact measurement of plastic properties of a Al-1.5%Cu thin film prepared by PVD, used for electrical connection of integrated circuits. By FIB milling, cylindrical specimens were prepared. The height of the specimens was equal to the film thickness (2 m) and their diameter was about 1.3 m. These specimens were subjected to the compressive loading using the nanoindenter equipped by a flat punch. Stress-strain curves of the film were obtained rather precisely.
Klíčová slova: Al thin film; nanocompression; yield point
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20410507 (CEP), CEZ:AV0Z10100522 (CEP)
Zdrojový dokument: Vrstvy a povlaky 2008, ISBN 978-80-969310-7-1

Instituce: Ústav fyziky materiálů AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0004821

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-39328


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fyziky materiálů
Konferenční materiály > Příspěvky z konference