Název: The deposition of amorphous and amorphous hydrogenated silicon with embedded cubic Mg.sub.2./sub.Si nanoparticles
Autoři: Stuchlíková, The-Ha ; Stuchlík, Jiří ; Remeš, Zdeněk ; Fajgar, Radek ; Galkin, N.G. ; Galkin, K.N. ; Chernev, I.M.
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: 5th International Conference Nanocon 2013, Brno (CZ), 20131016
Rok: 2014
Jazyk: eng
Abstrakt: We study possibilities how to increase a by usage of magnesium silicide nanoparticles (Mg2Si-NPs) in structure of Si: H. In this paper we introduce two technics -combination of PECVD and Vacuum Evaporation (VE) and Reactive Laser Ablation (RLA) -for preparation of cubic structure of Mg2Si-NPs in amorphous (a-Si) or amorphous hydrogenated (a-Si: H) silicon matrix. Formation of Mg2Si-NPs was proved by Raman spectroscopy. Likewise we introduce optical changes measured at absorption edge and the first results on realized NIP structures.
Klíčová slova: a-Si/a-Si:H matrix; Mg.sub.2./sub.Si nanoparticles; PECVD; RDA; RLA
Zdrojový dokument: NANOCON 2013 - 5th International Conference Proceedings, ISBN 978-80-87294-47-5

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0281141

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-371570


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference