Original title: Scintilační detektor SE pro EREM
Translated title: Scintillation SE Detector for Variable Pressure SEM
Authors: Tihlaříková, Eva ; Neděla, Vilém (referee) ; Jirák, Josef (advisor)
Document type: Master’s theses
Year: 2009
Language: cze
Publisher: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract: [cze] [eng]
Tato práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie (EREM). Využití této metody umožňuje sledování nevodivých a vlhkých vzorků bez potřeby speciálních úprav vysoušením a pokovováním. Princip spočívá v použití vyššího tlaku v komoře vzorku, pohybujícího se v rozsahu 100 až 2000 Pa. Plyn v komoře vzorku však omezuje možnosti detekce signálu. Cílem této práce je prozkoumání možnosti ovlivnění detekce signálu sekundárních elektronů pomocí elektrostatického pole. Elektrostatické pole bylo realizováno soustavou čtyř elektrod umístěných před ústí scintilačního detektoru a mělo za úkol ovlivňovat dráhy sekundárních elektronů směrem do komory detektoru. Optimalizace napětí na elektrodách byla provedena pomocí simulačního programu SIMION. Výsledky simulací byly experimentálně ověřeny na laboratorním EREM. This project deals with the theme of environmental scanning electron microscopy (EREM). This method allows the examination of insulators and wet specimens without pretreatment and modification like drying and metallization. The principle of this method consists in using higher pressure in a specimen chamber. The pressure is within the range of 100 – 200 Pa. However, the pressure in the specimen chamber restricts the signal detection interference. The objective of the work is to explore the possibility of interference in secondary electron route detection by way of electrostatic field. The electrostatic field was realized with the system consisting of four electrodes located in front of the scintillation detector. It should have interfered the secondary electron´s trajectory to the detector chamber. The optimization of voltage on the electrodes was made by simulation program called SIMION. The simulation results were experimentally verified with laboratory EREM.
Keywords: backscattered electrons; Environmental scanning electron microscopy; primary electrons; scintillation detector; secondary electrons; signal detection; detekce signálu; Environmentální rastrovací elektronový mikroskop; primární elektrony; scintilační detektor; sekundární elektrony; zpětně odražené elektrony

Institution: Brno University of Technology (web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record: http://hdl.handle.net/11012/7406

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-217869


The record appears in these collections:
Universities and colleges > Public universities > Brno University of Technology
Academic theses (ETDs) > Master’s theses