|
|
Detekce signálu segmentovým ionizačním detektorem v environmentálním SEM
Černoch, Pavel ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Disertační práce se zabývá detekcí signálů ionizačním detektorem v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu a využitím tohoto detektoru pro získání požadované informace v obraze vzorku. Hlavní pozornost je zaměřena na detektor, jenž obsahuje více elektrod o různém geometrickém uspořádání a napětí na těchto elektrodách, nazvaný segmentový ionizační detektor. Spolu s teoretickým zázemím z odborné literatury byly prostřednictvím simulací na počítači a experimentů v mikroskopu zjišťovány možnosti detekce signálu segmentovým ionizačním detektorem. Na základě provedených experimentů byl segmentový ionizační detektor optimalizován pro zkvalitnění detekce sekundárních elektronů a v jiné konfiguraci optimalizován pro získání vysokého materiálového kontrastu v obraze vzorku. Posouzení přínosu experimentovaných segmentových ionizačních detektorů je součástí práce.
|
|
|
Detekce signálu segmentovým ionizačním detektorem v environmentálním SEM
Černoch, Pavel ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Disertační práce se zabývá detekcí signálů ionizačním detektorem v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu a využitím tohoto detektoru pro získání požadované informace v obraze vzorku. Hlavní pozornost je zaměřena na detektor, jenž obsahuje více elektrod o různém geometrickém uspořádání a napětí na těchto elektrodách, nazvaný segmentový ionizační detektor. Spolu s teoretickým zázemím z odborné literatury byly prostřednictvím simulací na počítači a experimentů v mikroskopu zjišťovány možnosti detekce signálu segmentovým ionizačním detektorem. Na základě provedených experimentů byl segmentový ionizační detektor optimalizován pro zkvalitnění detekce sekundárních elektronů a v jiné konfiguraci optimalizován pro získání vysokého materiálového kontrastu v obraze vzorku. Posouzení přínosu experimentovaných segmentových ionizačních detektorů je součástí práce.
|
|
|
Optimalizace detekce sekundárních elektronů segmentovým ionizačním detektorem v environmentálním REM
Černoch, P. ; Jirák, Josef
Článek se zabývá prezentací výsledků optimalizace detekce sekundárních elektronů ionizačním detektorem v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu. Ionizační detektory mající různé geometrie elektrod a různá napětí na těchto elektrodách, tzv. segmentové ionizační detektory, jsou prezentovány jako možnost k dosažení požadovaných kontrastů v obraze vzorku. Snímky v této práci získané několika detektory demonstrují detekci různých typů elektronů s využitím vzorku obsahující tenké povrchové vrstvy a vzorku vyrobeného k měření materiálového kontrastu.
|
|
| |
|
|
Studium kontrastních mechanismů v environmentální rastrovací elektronové mikroskopii
Wandrol, Petr
Hlavním cílem práce je studium kontrastních mechanismů v environmentální rastrovací elektronové mikroskopii. V disertační práci se budu věnovat jednak návrhu a konstrukci pravého detektoru sekundárních elektronů, který není ovlivňován zpětně odraženými elektrony, a dále scintilačnímu detektoru zpětně odražených elektronů na bázi monokrystalu YAP. Pro úspěšné řešení tématu bude třeba zvládnout teorii vlivu magnetických polí na trajektorie elektronů a software SIMION v. 7.0 a prostudovat teorii pro stanovení vhodných vakuových poměrů v diferenciálních komůrkách.
|
|
| |
|
| |
|
|
Imaging of the voltage contrast in environmental SEM
Romanovský, Vladimír ; Autrata, Rudolf
Current methodology of imaging in the scanning electron microscopy is based on the detection of signal electrons that carry topografic and materialcontrast of specimens under study. Electronic devices can be observed because in their standard working mode voltage differences on component surfaces are visualized by means of the voltage contrast. This contrast can be acquired in nearly any commercially available scanning electron microscopeby detection and subsequent analysis of secondary electrons.
|
host ::
RSS.