Název: Imaging of the voltage contrast in environmental SEM
Autoři: Romanovský, Vladimír ; Autrata, Rudolf
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: CSEM, Vranovská Ves (CZ), 2002-02-08 / 2002-02-09
Rok: 2002
Jazyk: eng
Abstrakt: Current methodology of imaging in the scanning electron microscopy is based on the detection of signal electrons that carry topografic and materialcontrast of specimens under study. Electronic devices can be observed because in their standard working mode voltage differences on component surfaces are visualized by means of the voltage contrast. This contrast can be acquired in nearly any commercially available scanning electron microscopeby detection and subsequent analysis of secondary electrons.
Klíčová slova: detektory; contrast; detectors; environmental SEM
Číslo projektu: GA102/01/1271 (CEP), CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 2nd annual meeting of the Czechoslovak microscopy society, ISBN 80-238-8749-1

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101104

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29542


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference