Název:
Studium kontrastních mechanismů v environmentální rastrovací elektronové mikroskopii
Překlad názvu:
Study of contrast mechanisms in environmental scanning electron microscopy
Autoři:
Wandrol, Petr Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: PDS 2002, Brno (CZ), 2002-12-16
Rok:
2002
Jazyk:
cze
Abstrakt: [cze][eng] Hlavním cílem práce je studium kontrastních mechanismů v environmentální rastrovací elektronové mikroskopii. V disertační práci se budu věnovat jednak návrhu a konstrukci pravého detektoru sekundárních elektronů, který není ovlivňován zpětně odraženými elektrony, a dále scintilačnímu detektoru zpětně odražených elektronů na bázi monokrystalu YAP. Pro úspěšné řešení tématu bude třeba zvládnout teorii vlivu magnetických polí na trajektorie elektronů a software SIMION v. 7.0 a prostudovat teorii pro stanovení vhodných vakuových poměrů v diferenciálních komůrkách.The main goal of the work is study of contrast materials in environmental scanning electron microscopy. I will concentrate to the design and construction of the original detector of secondary electrons, which is not influenced by backscattered electrons as well as to scintillation detector of backscattered electrons on the basis of single-crystal YAP in the dissertation work. For successful solution of the topic it will be necessary to manage the theory of the influence of magnetic fields on trajectories of electrons. The knowledge of the software SIMION, version 7.0 will be necessary too, together with studying of the theory for assessment of suitable vacuum conditions in differential chambers.
Klíčová slova:
contrast; environmental SEM; secondary electron Číslo projektu: IBS2065107 (CEP), GA102/01/1271 (CEP), CEZ:AV0Z2065902 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR, GA ČR Zdrojový dokument: Sborník prací prezentovaných na Semináři doktorandů oboru Elektronová optika konaném dne 16. 12. 2002, ISBN 80-238-9915-5
Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101215