Název: Segmentový ionizační detektor pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Překlad názvu: Segment ionization detector for environmental scanning electron microscope
Autoři: Schneider, Luděk
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: PDS 2002, Brno (CZ), 2002-12-16
Rok: 2002
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Práce se zabývá vývojem a realizací segmentového ionizačního detektoru pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop (ESEM). Součástí práce je studium detekce signálních elektronů pro různé velikosti a prostorové umístění ionizačního a detekčního objemu vymezeného segmentovými elektrodami detektoru. The work deals with development and realization of segment ionization detector for environmental scanning electron microscope (ESEM). The work contains study of detection of signal detection for different sizes and spatial placing of a ionization and detection capacity determined by segment electrodes of the detector.
Klíčová slova: elektronový mikroskop; electron microscope; environmental SEM; ionization detector
Číslo projektu: GA102/01/1271 (CEP), CEZ:AV0Z2065902 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Sborník prací prezentovaných na Semináři doktorandů oboru Elektronová optika konaném dne 16. 12. 2002, ISBN 80-238-9915-5

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101213

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29582


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference