Original title: Vliv Everhart-Thornleyho detektoru na zobrazovaný signál
Translated title: Imaging properties of Everhart-Thornley detector
Authors: Novák, Libor ; Müllerová, Ilona
Document type: Papers
Conference/Event: Mikroskopie 2006, Nové Město na Moravě (CZ), 2006-02-16 / 2006-02-17
Year: 2006
Language: cze
Abstract: [cze] [eng]
Práce se zabývá detekcí sekundárních elektronů v SEM pomocí Everhart-Thornleyho detektoru. Jsou zde shrnuty experimentální výsledky popisující vlastnosti signálu v jednotlivých částech E.-T. detektoru. Pomocí numerického modelu poskytujícího výstupní signál detektoru jsou porovnány různé detekční módy E.-T. detektoru. The paper deals with the detection of secondary electrons in SEM by means of Everhart-Thornley type of detector. Experiment results showing signal properties in individual parts of the detector are presented. Different detection modes are compared using numerical simulation of the E.-T. detector.
Keywords: detection; Everhart-Thornley; SEM
Project no.: GA102/04/2144 (CEP)
Funding provider: GA ČR
Host item entry: Mikroskopie 2006

Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0140971

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-36413


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Scientific Instruments
Conference materials > Papers