Název: Vliv Everhart-Thornleyho detektoru na zobrazovaný signál
Překlad názvu: Imaging properties of Everhart-Thornley detector
Autoři: Novák, Libor ; Müllerová, Ilona
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Mikroskopie 2006, Nové Město na Moravě (CZ), 2006-02-16 / 2006-02-17
Rok: 2006
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Práce se zabývá detekcí sekundárních elektronů v SEM pomocí Everhart-Thornleyho detektoru. Jsou zde shrnuty experimentální výsledky popisující vlastnosti signálu v jednotlivých částech E.-T. detektoru. Pomocí numerického modelu poskytujícího výstupní signál detektoru jsou porovnány různé detekční módy E.-T. detektoru. The paper deals with the detection of secondary electrons in SEM by means of Everhart-Thornley type of detector. Experiment results showing signal properties in individual parts of the detector are presented. Different detection modes are compared using numerical simulation of the E.-T. detector.
Klíčová slova: detection; Everhart-Thornley; SEM
Číslo projektu: GA102/04/2144 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Mikroskopie 2006

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0140971

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-36413


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference