Original title:
Vliv Everhart-Thornleyho detektoru na zobrazovaný signál
Translated title:
Imaging properties of Everhart-Thornley detector
Authors:
Novák, Libor ; Müllerová, Ilona Document type: Papers Conference/Event: Mikroskopie 2006, Nové Město na Moravě (CZ), 2006-02-16 / 2006-02-17
Year:
2006
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Práce se zabývá detekcí sekundárních elektronů v SEM pomocí Everhart-Thornleyho detektoru. Jsou zde shrnuty experimentální výsledky popisující vlastnosti signálu v jednotlivých částech E.-T. detektoru. Pomocí numerického modelu poskytujícího výstupní signál detektoru jsou porovnány různé detekční módy E.-T. detektoru.The paper deals with the detection of secondary electrons in SEM by means of Everhart-Thornley type of detector. Experiment results showing signal properties in individual parts of the detector are presented. Different detection modes are compared using numerical simulation of the E.-T. detector.
Keywords:
detection; Everhart-Thornley; SEM Project no.: GA102/04/2144 (CEP) Funding provider: GA ČR Host item entry: Mikroskopie 2006
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0140971