Název: Influence of the cross-section of gas molecules upon detection on the environmental SEM
Autoři: Neděla, Vilém ; Romanovský, Vladimír
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: CSEM, Vranovská Ves (CZ), 2002-02-08 / 2002-02-09
Rok: 2002
Jazyk: eng
Abstrakt: Environmental scanning electron microscopy exploits presence of gas or water vapour in the specimen chamber. Molecules of the gaseous environment can be ionised by electrons, which can compensate the surface charge on thespecimen (at the pressure approx. 200 Pa). At higher pressure of gases and water vapour in the specimen chamber (more than 609 Pa) specimens with content of water can be observed.
Klíčová slova: SEM; specimen chamber
Číslo projektu: CEZ:AV0Z2065902 (CEP), IBS2065107 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 2nd annual meeting of the Czechoslovak microscopy society, ISBN 80-238-8749-1

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0101101

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-29539


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference