Název:
Study of plasma in hybrid PLD system for CN.sub.x./sub. films creation
Překlad názvu:
Studium plasmy v hybridním PLD systému pro přípravu CN.sub.x./sub. vrstev
Autoři:
Novotný, Michal ; Jelínek, Miroslav ; Bulíř, Jiří ; Lančok, Ján ; Zelinger, Zdeněk Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Workshop O.K. 2002, Praha (CZ), 2002-10-01 / 2002-10-05
Rok:
2002
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] We have developed hybrid PLD systems (combination of PLD and additional radiofrquency discharges) for increasing active nitrogen concentration in plasma and consequently N/C ratio in deposited films. For study of plasma and plasma processes we have used OESByl vyvinut nový hybridní PLD systém (kombinace PLD s přídavným radiofrekvenčným výbojem) pro zvýšení koncentrace aktivního dusíku v plasmě a následně poměru N:C v připravených vrstvách. Pro studium plasmy a procesů v ní byla použita metoda OES
Klíčová slova:
CN x films; hybrid PLD system Číslo projektu: CEZ:AV0Z1010914 (CEP), IAA1010110 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR Zdrojový dokument: Optické komunikace
Instituce: Fyzikální ústav AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0011509