Original title:
Study of plasma in hybrid PLD system for CN.sub.x./sub. films creation
Translated title:
Studium plasmy v hybridním PLD systému pro přípravu CN.sub.x./sub. vrstev
Authors:
Novotný, Michal ; Jelínek, Miroslav ; Bulíř, Jiří ; Lančok, Ján ; Zelinger, Zdeněk Document type: Papers Conference/Event: Workshop O.K. 2002, Praha (CZ), 2002-10-01 / 2002-10-05
Year:
2002
Language:
eng Abstract:
[eng][cze] We have developed hybrid PLD systems (combination of PLD and additional radiofrquency discharges) for increasing active nitrogen concentration in plasma and consequently N/C ratio in deposited films. For study of plasma and plasma processes we have used OESByl vyvinut nový hybridní PLD systém (kombinace PLD s přídavným radiofrekvenčným výbojem) pro zvýšení koncentrace aktivního dusíku v plasmě a následně poměru N:C v připravených vrstvách. Pro studium plasmy a procesů v ní byla použita metoda OES
Keywords:
CN x films; hybrid PLD system Project no.: CEZ:AV0Z1010914 (CEP), IAA1010110 (CEP) Funding provider: GA AV ČR Host item entry: Optické komunikace
Institution: Institute of Physics AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0011509