Název:
Nanocrystalline diamond films preparation by hybrid pulsed laser deposition
Překlad názvu:
Nanokrystalické diamantové vrstvy deponované hybridní pulsní laserovou depozicí
Autoři:
Novotný, Michal ; Jelínek, Miroslav ; Bulíř, Jiří ; Lančok, Ján ; Vorlíček, Vladimír Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: Workshop 2004, Praha (CZ), 2004-03-22 / 2004-03-26
Rok:
2004
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] We used pulsed laser deposition (PLD) and hybrid PLD (HPLD) techniques for NCD thin films preparation. KrF excimer laser beam (Lumonics, .lambda.=248 nm , 20 ns, 500 mJ) was focused on graphite target with energy density of 4-7 J.cm.sup.- 2./sup.. Films were deposited on sapphire and Si(100) substrates in hydrogen and argon/hydrogen ambientMetody pulsní laserové depozice (PLD) a hybridní PLD (HPLD) byli použity pro přípravu NCD tenkých vrstev. Excimerový KrF laser byl fokusován na grafitový terč a vrstvy připraveny na safírové a Si(100) podložky ve vodíkové a agrón/vodíkové atmosférách
Klíčová slova:
nanocrystalline diamond; pulsed laser deposition Číslo projektu: CEZ:AV0Z1010914 (CEP), IAA1010110 (CEP), LN00A015 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR, GA MŠk Zdrojový dokument: Proceedings of Workshop 2004
Instituce: Fyzikální ústav AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0009832