Original title:
Nanocrystalline diamond films preparation by hybrid pulsed laser deposition
Translated title:
Nanokrystalické diamantové vrstvy deponované hybridní pulsní laserovou depozicí
Authors:
Novotný, Michal ; Jelínek, Miroslav ; Bulíř, Jiří ; Lančok, Ján ; Vorlíček, Vladimír Document type: Papers Conference/Event: Workshop 2004, Praha (CZ), 2004-03-22 / 2004-03-26
Year:
2004
Language:
eng Abstract:
[eng][cze] We used pulsed laser deposition (PLD) and hybrid PLD (HPLD) techniques for NCD thin films preparation. KrF excimer laser beam (Lumonics, .lambda.=248 nm , 20 ns, 500 mJ) was focused on graphite target with energy density of 4-7 J.cm.sup.- 2./sup.. Films were deposited on sapphire and Si(100) substrates in hydrogen and argon/hydrogen ambientMetody pulsní laserové depozice (PLD) a hybridní PLD (HPLD) byli použity pro přípravu NCD tenkých vrstev. Excimerový KrF laser byl fokusován na grafitový terč a vrstvy připraveny na safírové a Si(100) podložky ve vodíkové a agrón/vodíkové atmosférách
Keywords:
nanocrystalline diamond; pulsed laser deposition Project no.: CEZ:AV0Z1010914 (CEP), IAA1010110 (CEP), LN00A015 (CEP) Funding provider: GA AV ČR, GA MŠk Host item entry: Proceedings of Workshop 2004
Institution: Institute of Physics AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0009832