host ::
přihlásit
Digitální repozitář
Hledej
Nový záznam
Nápověda
O repozitáři
Hlavní stránka
>
Konferenční materiály
>
Příspěvky z konference
> Polishing a polymer interlayers for diamond-diamond wafer bonding
Informace
Soubory
Název:
Polishing a polymer interlayers for diamond-diamond wafer bonding
Autoři:
Babchenko, Oleg
;
Verveniotis, Elisseos
;
Ledinský, Martin
;
Rezek, Bohuslav
;
Vallin, Ö.
;
Kromka, Alexander
Typ dokumentu:
Příspěvky z konference
Konference/Akce:
International Workshop on Diamond Nanotechnology and Science Progress
, Prague (CZ), 2011-06-15 / 2011-06-17
Rok:
2012
Jazyk:
eng
Abstrakt:
Surfaces of as-grown samples had high local peaks (detected by white light interferometer) that impede diamond to diamond bonding as directly as by employing interlayer polymer.
Klíčová slova:
AFM
;
focused plasma
;
linear antenna plasma
;
nanocrystalline diamond
;
SEM
Číslo projektu:
CEZ:AV0Z10100521
(
CEP
)
Zdrojový dokument:
Proceedings of the International Workshop on Diamond Nanotechnology and Science Progress - DINAS 2011, ISBN 978-80-260-1593-2
Instituce:
Fyzikální ústav AV ČR (
web
)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam:
http://hdl.handle.net/11104/0220756
Trvalý odkaz NUŠL:
http://www.nusl.cz/ntk/nusl-152765
Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum
>
AV ČR
>
Fyzikální ústav
Konferenční materiály
>
Příspěvky z konference
Záznam vytvořen dne 2013-04-17, naposledy upraven 2021-11-24.
Podobné záznamy
Není přiložen dokument
Exportovat ve formátu
DC
,
NUŠL
,
RIS
Sdílet