Název: Estimation of mechanical properties of thin Al surface layer
Autoři: Petráčková, Klára ; Kuběna, Ivo ; Truhlář, Michal ; Náhlík, Luboš ; Kruml, Tomáš
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Applied Mechanics 2012, Plzeň (CZ), 2012-04-16 / 2012-04-18
Rok: 2012
Jazyk: eng
Abstrakt: The paper describes a new method for testing of thin layers, so-called microcompression test. As an example determination of Al thin film properties deposited on Si substrate is introduced in the paper. Microcompression combines the sample preparation with the use of focused ion beam (FIB) with a compression test carried out using nanoindenter. Cylindrical specimens (pillars) were prepared in Al film using FIB. The typical diameter of pillars was about 1.3 μm and their height was about 2 μm. The results depend on crystallographic orientation of pillar. Stress-strain curves of the thin film were obtained. Experimentally measured data on pillars needs correction to obtain undistorted material properties of Al thin film. A necessary correction using finite element modeling is suggested in the paper. The paper contributes to a better characterization of very thin surface layers and determination of their mechanical properties.
Klíčová slova: FEM modelling; focused ion beam; microcompression; thin film properties
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20410507 (CEP)
Zdrojový dokument: 14th International conference Applied Mechanics 2012 - Conference proceedings, ISBN 978-80-261-0097-3

Instituce: Ústav fyziky materiálů AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0216761

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-136103


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav fyziky materiálů
Konferenční materiály > Příspěvky z konference