Název: Growth and properties of diamond films prepared on 4-inch substrates by cavity plasma systems
Autoři: Babčenko, Oleg ; Potocký, Štěpán ; Aubrechtová Dragounová, Kateřina ; Szabó, Ondrej ; Bergonzo, P. ; Rezek, B. ; Kromka, Alexander
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Conference NANOCON 2020 /12./, Brno (CZ), 20201021
Rok: 2021
Jazyk: eng
Abstrakt: We compare two microwave (2.45 GHz) plasma systems with ellipsoidal and multimode clamshell cavity for diamond synthesis by chemical vapor deposition. We use H2/CH4/CO2 gas mixture for diamond film deposition on Si <100> wafers. Both systems are capable of high pressure (up to 20 kPa) operation and high growth rates (several µm/h). We compare the cavity systems from the point of diamond quality (Raman shift measurement), substrate size (2” versus 4”) and grown film homogeneity together with surface morphology (SEM), deposition rate and parasitic doping levels (photoluminescence).
Klíčová slova: high-power density plasma; large area diamond; microwave cavity plasma
Číslo projektu: CZ.02.1.01/0.0/0.0/16_019/0000760, EF16_019/0000760, LM2018110 (CEP)
Poskytovatel projektu: OP VVV - SOLID21, GA MŠk, GA MŠk
Zdrojový dokument: Proceedings 12th International Conference on Nanomaterials - Research & Application - Nanocon 2020, ISBN 978-80-87294-98-7, ISSN 2694-930X

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0319855

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-438875


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference