|
Quality assessment of scintillation detector in SEM using MFT
Bok, Jan ; Schauer, Petr
One of the recent trends in S(T)EM is increasing of the e-beam scanning speed. In general, higher speeds decrease object degradation and prevent image artifacts caused by slow electrical discharging. However, the increase of the scanning speed is limited by the time response of the segnal-electron detector. When the detector response is slower than the scanning speed, it can have negative influence to the quality of the scanned image, such as contrast reduction and image blurring. Usually, the rise and fall edges of the time response curve to a square electron pulse have more complex form, such as a multi-exponential function of time. Evaluate and compare the time-dependent edges in contex of their influence on the image quality is rather complicated. Therefore, we propose to express the detector time response by the modulation transfer function (MTF), which contains all relevant information. It can give the answer to the important question, what maximum scanning speed can be used not to significantly decrease the image quality.
|
| |
|
Zdokonalení monokrystalických scintilátorů pro scintilační detektory v S(T)EM
Schauer, Petr
Scintilátor je problematická část jakéhokoliv scintilačního detektoru pro S(T)EM. Důvodem je jeho doba doznívání a zejména jeho dosvit, které zhoršují schopnost přenášet obrazový kontrast. Jinými slovy, pomalý scintilátor je příčinou špatné funkce přenosu modulace (MTF) celého detektoru. Pokud je při použití takového scintilátoru přenášena série alternujících bílých a černých bodů, obraz je při použití typické frekvence pro S(T)EM poněkud poškozený. Pro zdokonalení MTF detektoru byla v naší laboratoři studována kinetika mnoha monokrystalických scintilátorů. Některé výsledky týkající se cerem aktivovaného ytrito-hlinitého granátu (YAG:Ce) a cerem aktivovaného ytrito-hlinitého perovskitu (YAP:Ce) jsou presentovány v této práci.
|
|
Analýza poly[methyl(phenyl)silylene] degradovaného elektronovým svazkem
Horák, Petr ; Schauer, Petr
Polysilany (Psi) patří mezi širokou skupinu organických materiálů jejichž základním stavebním blokem je řetězec sestavený z křemíku. Náchylnost k degradaci je charakteristická vlastnost PSi. PSi jsou degradovatelné například ultrafialovým zářením nebo elektronovým svazkem. Degradace materiálu snižuje intensitu luminiscence. Poly[methyl(phenyl)silylene] (PMPSi) byl vybrán jako typický reprezentant PSi.
|
|
Účinek elektronového svazku na poly[fenyl(methyl)silylen]
Horák, Petr ; Schauer, Petr
Studium vlastností poly[fenyl(methyl)silylenu] pomocí katodoluminiscenční metody je komplikované degradací studovaného materiálu. Rychlost degradace závisí na času ozáření a proudové hustotě excitačního svazku. Katodoluminiscenční studium poly[fenyl(methyl)silylenu] prokázalo tvorbu metastabilních stavů v materiálu. Degradace je tudíž v tomto případě procesem vratným.
|
|
Kinetika doznívání scintilačních krystalů pro detektory elektronů v SEM
Schauer, Petr
V této práci je presentováno studium kinetiky doznívání monokrystalických scintilátorů YAG:Ce pro SEM. Základní veličiny určující kvalitu obrazu v SEM jsou kontrast, prostorové rozlišení a šum. Nicméně pro vyčíslení celkové kvality zobrazovacího systému je lepší detekční kvantová účinnost (DQE), neboť zahrnuje jak funkci přenosu modulace tak spektrum šumu. Z toho vyplývá, že detektor, který má mít vysokou DQE, by měl mít nejen vysokou účinnost a nízký šum, ale také dobré kinetické vlastnosti. S využitím výsledů doznívání katodoluminiscence je presentován schematický kinetický model zářivých a nezářivých přechodů v monokrystalech YAG:Ce.
|
| |
|
Detekce slabé katodoluminiscence
Horák, Petr ; Schauer, Petr
Hlavním úskalím katodoluminiscenčního (CL) studia poly[methyl(phenyl)silylenu] (PMPSi) je náchylnost studovaného materiálu k degradaci. Proces degradace způsobuje silný pokles CL intenzity. Měření v synchronním módu může odstranit vliv šumu a pozadí a zvýšit tak dynamický rozsah měření o několik řádů.
|
|
Cathodoluminescence spectra measurement
Schauer, Petr ; Autrata, Rudolf
In our laboratory the equipment for the investigation of cathodoluminescent (CL) properties of solid specimens has been built. The equipment is based on the completely rebuilt Tesla BS242 electron microscope, supplied by the light collection UV transmitting system, and by a fast and efficient photomultiplier tube (PMT) as the detection unit. The CL properties of specimens (slim disks) can be measured in continuous or pulse modes. So, in addition to the efficiency and decay times the emission spectra can be measured for 10 keV electron beams.
|
| |