|
Zobrazování nevodivých vzorků pomocí nízkoenergiových zpětně odražených elektronů v SEM
Wandrol, Petr
Článek se zabývá problémy zobrazování nevodivých vzorků v SEM, které jsou způsobovány především jejich nabíjením. Použití nízké energie primárního svazku a pozorování pomocí zpětně odražených elektronů bylo navrženo pro potlačení nábojových artefaktů v obraze. Dále je popsán nově vyvinutý detektor zpětně odražených elektronů pro nízkoenrgiovou SEM a jsou prezentovány obrázky nepokovených nevodivých vzorků bez nábojových artefaktů pořízené tímto detektorem.
|
| |
| |
| |
|
Detekční strategie pro sběr sekundárních elektronů v REM
Konvalina, Ivo ; Hovorka, Miloš ; Wandrol, Petr ; Mika, Filip ; Müllerová, Ilona
Sekundární elektrony (SE) jsou v rastrovacím elektronovém mikroskopu (REM) obvykle detekovány pomocí Everhartova-Thornleyho (ET) detektoru, jehož slabé elektrostatické pole přitahuje nízko energiové SE; takový systém nazveme standardní. Tento systém se používá více než 40 let. Moderní REM dosahují zlepšení obrazového rozlišení vlivem silného magnetického pole objektivové čočky, které proniká do oblasti vzorku (tzv. imerzní systém). V tomto případě se obvykle používají dva SE detektory: jeden umístěný pod objektivem (spodní detektor) a druhý se nachází uvnitř objektivu (horní detektor). Výsledný kontrast obrazu sekundárních elektronů stejného vzorku se mění s energiovou a úhlovou citlivostí detektoru, v závislosti na rozložení elektrostatického a magnetického pole v okolí vzorku. Studium sběrové účinnosti jednotlivých detektorů je nezbytné pro správnou interpretaci pozorovaného kontrastu.
|
| |
| |
| |
| |
| |