Název: Signal Processing of Secondary Electron Images in SEM
Překlad názvu: Článek charakterizuje způsoby zavedení rastrovací verze LEEM do konvenčního SEM prostřednictvím vložení katodové čočky pod objektiv přístroje. Shrnuty jsou základní vlastnosti rastrovacího LEEMu
Autoři: Novák, Libor ; Müllerová, Ilona
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: Multinational Congress on Microscopy /8./, Prague (CZ), 2007-06-17 / 2007-06-21
Rok: 2007
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
Procedure of signal processing in the Everhart-Thornley type of the secondary electron detector in the SEM is analyzed as regards signal statistics, detective quantum efficiency and transport and possible losses of information. Proces zpracování signálu v detektoru sekundárních elektronů Everhart-Thornleyho typu v rastrovacím elektronovém mikroskopu je analyzován pokud jde o statistiku signálu, detekční kvantovou účinnost a přenos informace a její případné ztráty.
Klíčová slova: secondary electron images; SEM; signal processing
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP), GA102/05/2327 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA ČR
Zdrojový dokument: Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy, ISBN 978-80-239-9397-4

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0152591

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-37950


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference