|
|
Metoda napěťového kontrastu v EREM
Krňávek, Martin ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na environmentální rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje funkci mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak vznik zpětně odražených a sekundárních elektronů a metodu napěťového kontrastu. Praktická část se zabývá problematikou napěťového kontrastu pro sledování rozložení elektrických potenciálů na površích polovodičových součástek a stanovuje vhodné pracovní podmínky pro pozorování napěťového kontrasu pomocí scintilačního detektoru sekundárních elektronů.
|
|
|
Metodika stanovení velikosti detekovaného signálu v EREM
Potoma, Jaroslav ; Jirák, Josef (oponent) ; Čudek, Pavel (vedoucí práce)
Předkládaná práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie (EREM) a detekcí signálních elektronů pomocí ionizačního detektoru.Hlavní náplní této práce je porovnání osciloskopické metody stanovení velikosti signálu s metodou vyhodnocování velikosti signálu z úrovně šedi ze snímků standartních vzorků. Vyhodnocení výhod a nevýhod obou metod.
|
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro ESEM
Čudek, Pavel ; Kadlec, Jaromír (oponent) ; Rek, Antonín (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Práce se zabývá problematikou scintilačního detektoru sekundárních elektronů pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop, včetně jeho návrhu a konstrukce. Východiskem bylo modelování elektrostatických polí v elektrodovém systému detektoru, pohybu elektronů v těchto polích a simulace rozložení tlaků a proudění plynů v jednotlivých částech detektoru. Na základě provedených simulací byly postupně realizovány konstrukční úpravy detektoru. Detekční účinnost jednotlivých verzí detektoru byla určena v práci popsanou metodou vyhodnocování velikosti signálu z pořízených snímků, kvalita snímků byla stanovena z poměru signálu k šumu. V práci je popsán celý postup při úpravách detektoru, od počátečního stavu, kdy detektor pracoval v rozsahu tlaku 300 – 900 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu s nižší účinností, až po finální verzi detektoru umožňující jeho použití v rozmezí tlaků menších než 10-1 Pa do 1000 Pa vodních par v komoře vzorku mikroskopu.
|
|
|
Základní vlastnosti polovodičových materiálů
Kahánek, Tomáš ; Jirák, Josef (oponent) ; Špinka, Jiří (vedoucí práce)
Předkládaná práce se zabývá základními vlastnostmi polovodičových materiálů a metodami měření vlastností polovodičů. Práce je zaměřena na metody bezkontaktních měření, kde se využívá světelných paprsků ke generaci náboje v polovodiči. Testy byly prováděny pro příměsové polovodiče na přechodu PN barevných diod a na vzorku křemíku s vysokou rezistivitou na kterém byla zjišťována absorpční hrana.
|
|
|
Detekce signálu segmentovým ionizačním detektorem v environmentálním SEM
Černoch, Pavel ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Disertační práce se zabývá detekcí signálů ionizačním detektorem v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu a využitím tohoto detektoru pro získání požadované informace v obraze vzorku. Hlavní pozornost je zaměřena na detektor, jenž obsahuje více elektrod o různém geometrickém uspořádání a napětí na těchto elektrodách, nazvaný segmentový ionizační detektor. Spolu s teoretickým zázemím z odborné literatury byly prostřednictvím simulací na počítači a experimentů v mikroskopu zjišťovány možnosti detekce signálu segmentovým ionizačním detektorem. Na základě provedených experimentů byl segmentový ionizační detektor optimalizován pro zkvalitnění detekce sekundárních elektronů a v jiné konfiguraci optimalizován pro získání vysokého materiálového kontrastu v obraze vzorku. Posouzení přínosu experimentovaných segmentových ionizačních detektorů je součástí práce.
|
|
|
Detekce signálních elektronů v prostředí vysokého tlaku plynů environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu
Neděla, Vilém ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Disertační práce se zabývá studiem vlastností nového systému pro detekci pravých sekundárních a zpětně odražených elektronů v podmínkách vysokého tlaku plynů komory vzorku nově postaveného environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu AQUASEM II. Detekční systém obsahuje tři detektory. Poprvé je představen a podrobně popsán princip činnosti ionizačního detektoru s elektrostatickým separátorem, který je v řadě experimentů porovnáván s ionizačním detektorem SE. Experimentálně jsou prokázány unikátní vlastnosti tohoto detekčního systému, zejména schopnost energiové separace detekovaných signálních elektronů. Pro různé pracovní podmínky jsou také analyzovány úrovně signálů detekovaných BSE YAG detektorem, koncipovaným jako součást nového detekčního systému a pracujícím v součinnosti s oběma ionizačními detektory.
|
|
| |
|
|
Scintilační detektor sekundárních elektronů pro REM pracující při vyšším tlaku v komoře vzorku
Kozelský, Adam ; Čudek, Pavel (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Tato práce obsahuje teoretický popis základních vlastností a principu elektronové mikroskopie, se zaměřením na rastrovací elektronovou mikroskopii. Popisuje konstrukční řešeni mikroskopu, interakce probíhající po dopadu elektronového svazku na vzorek, především pak zpětně odražené a sekundární elektrony. Další kapitoly se zabývají historickým vývojem elektronové mikroskopie a environmentální elektronovou mikroskopii. Praktická část se zabývá problematikou detekce sekundárních elektronů scintilačním detektorem v rastrovacím elektronovém mikroskopu pracujícím při vyšším tlaku v komoře vzorku. Konkrétně optimalizaci napětí na sběrné mřížce a proměření tlakových závislostí.
|
|
|
Víceelektrodový systém ionizačního detektoru pro environmentální rastrovací elektronový mikroskop
Uhlář, Vít ; Špinka, Jiří (oponent) ; Jirák, Josef (vedoucí práce)
Diplomová práce se zabývá problematikou environmentální rastrovací elektronové mikroskopie a detekce signálních elektronů s použitím ionizačního detektoru. První část práce hovoří o principu a uspořádání environmentálního rastrovacího elektronového mikroskopu. Druhá část práce popisuje druhy rozptylu a jednotlivé signály, které vznikají při interakci primárního elektronového svazku se vzorkem. Třetí část práce vysvětluje problematiku nárazové ionizace a ionizačního detektoru. Experimentální část práce se zabývá použitím segmentového ionizačního detektoru a stanovením zesílení výsledného signálu z mědi a platiny v závislosti na zapojení elektrod detektoru. Dále práce zkoumá vliv uspořádání elektrod ionizačního detektoru na materiálový kontrast a na změny napěťového kontrastu na přechodu báze emitor bipolárního tranzistoru typu NPN. Všechny experimenty byly prováděny v závislosti na tlaku nasycených par v komoře vzorku.
|
|
|
Elektrické vlastnosti alternativních kapalin pro elektrotechniku
Naider, Jan ; Jirák, Josef (oponent) ; Frk, Martin (vedoucí práce)
Diplomová práce obsahuje rozdělení elektroizolačních olejů, popis vlastností jednotlivých druhů a aktuální přehled o nových elektroizolačních kapalinách. Součástí práce je vysvětlení polarizace a vodivosti látky. V praktické části je porovnána změřená teplotní závislost složek komplexní permitivity a rezistvity několika složek vyšších mastných kyselin, rostlinných olejů a trafo oleje. Byly stanoveny a porovnány hodnoty průrazného napětí měřených izolačních kapalin.
|
host ::
RSS.