host ::
přihlásit
Digitální repozitář
Hledej
Nový záznam
Nápověda
O repozitáři
Hlavní stránka
>
Vysokoškolské kvalifikační práce
>
Diplomové práce
> Tlakový senzor typu MEMS využívající nanokompozity
Informace
Soubory
Název:
Tlakový senzor typu MEMS využívající nanokompozity
Překlad názvu:
MEMS pressure sensor utilizing nanocomposites
Autoři:
Šeda, Miroslav
;
Musil, Vladislav
(oponent) ;
Ficek, Richard
(vedoucí práce)
Typ dokumentu:
Diplomové práce
Rok:
2008
Jazyk:
cze
Nakladatel:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt:
[cze]
[eng]
Cílem této práce je seznámit čtenáře se základními technologickými operacemi výroby MEMS (Mikro-elektro-mechanických systémů). Dále jsou v této práci zmíněny vlastnosti a výroba CNTs (uhlíkových nanotrubic), které jsou použity pro výrobu kapacitního tlakového senzoru.
The main goal of this work is to introduce with the basic technologies of manufacturing MEMS (Micro-electro-mechanical-systems). Further there is mentioned properties and manufacturing of CNT (Carbon nanotubes), used in manufacturing of capacitance pressure sensor.
Klíčová slova:
depozice
;
depozice z pevné fáze
;
depozice z plynné fáze
;
leptání
;
litografie
;
Mikro-elektro-mechanické systémy
;
skenovací elektronový mikroskop.
;
uhlíkové nanotrubice
;
carbon nanotubes
;
deposition
;
etching
;
litography
;
Micro – electro – mechanical - sytems
;
physical vapour deposition scanning electron microscopy.
;
plasma enhanced chemical vapour deposition
Instituce:
Vysoké učení technické v Brně (
web
)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam:
http://hdl.handle.net/11012/770
Trvalý odkaz NUŠL:
http://www.nusl.cz/ntk/nusl-608488
Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství
>
Veřejné vysoké školy
>
Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce
>
Diplomové práce
Záznam vytvořen dne 2024-04-02, naposledy upraven 2024-04-03.
Podobné záznamy
Není přiložen dokument
Exportovat ve formátu
DC
,
NUŠL
,
RIS
Sdílet