guest ::
login
Digital Repository
Search
Submit
Help
About
Home
>
Academic theses (ETDs)
>
Master’s theses
> Tlakový senzor typu MEMS využívající nanokompozity
Information
Files
Original title:
Tlakový senzor typu MEMS využívající nanokompozity
Translated title:
MEMS pressure sensor utilizing nanocomposites
Authors:
Šeda, Miroslav
;
Musil, Vladislav
(referee) ;
Ficek, Richard
(advisor)
Document type:
Master’s theses
Year:
2008
Language:
cze
Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstract:
[cze]
[eng]
Cílem této práce je seznámit čtenáře se základními technologickými operacemi výroby MEMS (Mikro-elektro-mechanických systémů). Dále jsou v této práci zmíněny vlastnosti a výroba CNTs (uhlíkových nanotrubic), které jsou použity pro výrobu kapacitního tlakového senzoru.
The main goal of this work is to introduce with the basic technologies of manufacturing MEMS (Micro-electro-mechanical-systems). Further there is mentioned properties and manufacturing of CNT (Carbon nanotubes), used in manufacturing of capacitance pressure sensor.
Keywords:
carbon nanotubes
;
deposition
;
etching
;
litography
;
Micro – electro – mechanical - sytems
;
physical vapour deposition scanning electron microscopy.
;
plasma enhanced chemical vapour deposition
;
depozice
;
depozice z pevné fáze
;
depozice z plynné fáze
;
leptání
;
litografie
;
Mikro-elektro-mechanické systémy
;
skenovací elektronový mikroskop.
;
uhlíkové nanotrubice
Institution:
Brno University of Technology (
web
)
Document availability information:
Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library.
Original record:
http://hdl.handle.net/11012/770
Permalink:
http://www.nusl.cz/ntk/nusl-608488
The record appears in these collections:
Universities and colleges
>
Public universities
>
Brno University of Technology
Academic theses (ETDs)
>
Master’s theses
Record created 2024-04-02, last modified 2024-04-03
Similar records
No fulltext
Export as
DC
,
NUŠL
,
RIS
Share