Název: Nanoelektrody pro biofyzikální měření
Překlad názvu: Nanoelectrodes for biophysical measurements
Autoři: Márik, Marian ; Hrdý, Radim (oponent) ; Hubálek, Jaromír (vedoucí práce)
Typ dokumentu: Bakalářské práce
Rok: 2011
Jazyk: cze
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Abstrakt: [cze] [eng]
Cílem projektu je návrh nanoelektrody na zadanou křemíkovou desku s dopředu určenými přísadami a tenkovstvými technikami v kombinaci litografie a nanotechniky, vyvinutými v LabSensNano. Práce se zabývá hlavně procesem litografie a před procesní přípravou křemíkové desky. Dále je uveden stručný návrh elektrod, návrh pro realizaci a stav praktické experimentace. The aim of the project is formation of nanoelectrodes on the silicon wafer surface by thin-film techniques combined with lithography and nanotechniques developed in LabSensNano. Project is engaged in lithography and in preparation of silicon wafers. Furthermore is proposed a brief proposal of electrodes, proposal of realization and current state of the experiment.
Klíčová slova: anodizace; depozice; fotorezist; leptání; Litografie; maskování; nanoelektrody; vlnová délka; vyvolání; čištění; anodizing; cleaning; deposition; developing; etching; Lithography; masking; nanoelectrodes; photo resist; wave length

Instituce: Vysoké učení technické v Brně (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/1910

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-547896


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Školství > Veřejné vysoké školy > Vysoké učení technické v Brně
Vysokoškolské kvalifikační práce > Bakalářské práce