Original title:
Nanoelektrody pro biofyzikální měření
Translated title:
Nanoelectrodes for biophysical measurements
Authors:
Márik, Marian ; Hrdý, Radim (referee) ; Hubálek, Jaromír (advisor) Document type: Bachelor's theses
Year:
2011
Language:
cze Publisher:
Vysoké učení technické v Brně. Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií Abstract:
[cze][eng]
Cílem projektu je návrh nanoelektrody na zadanou křemíkovou desku s dopředu určenými přísadami a tenkovstvými technikami v kombinaci litografie a nanotechniky, vyvinutými v LabSensNano. Práce se zabývá hlavně procesem litografie a před procesní přípravou křemíkové desky. Dále je uveden stručný návrh elektrod, návrh pro realizaci a stav praktické experimentace.
The aim of the project is formation of nanoelectrodes on the silicon wafer surface by thin-film techniques combined with lithography and nanotechniques developed in LabSensNano. Project is engaged in lithography and in preparation of silicon wafers. Furthermore is proposed a brief proposal of electrodes, proposal of realization and current state of the experiment.
Keywords:
anodizing; cleaning; deposition; developing; etching; Lithography; masking; nanoelectrodes; photo resist; wave length; anodizace; depozice; fotorezist; leptání; Litografie; maskování; nanoelektrody; vlnová délka; vyvolání; čištění
Institution: Brno University of Technology
(web)
Document availability information: Fulltext is available in the Brno University of Technology Digital Library. Original record: http://hdl.handle.net/11012/1910