Název:
Aplikace kyslíkových atomárních svazků
Překlad názvu:
Application of oxygen atomic beams
Autoři:
Mikerásek, Vojtěch ; Čech, Vladimír (oponent) ; Mach, Jindřich (vedoucí práce) Typ dokumentu: Diplomové práce
Rok:
2023
Jazyk:
eng
Nakladatel: Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství
Abstrakt: [eng][cze]
V diplomové práci je popsán návrh, konstrukce a testování termálního zdroje svazku atomárního kyslíku, který je určen k růstu tenkých oxidových vrstev v podmínkách ultra vysokého vakua. První kapitola pojednává o teorii spjaté s termální disociací a tvorbou atomárních svazků. Dále jsou uvedeny hlavní typy zdrojů svazků atomárního kyslíku a jeho aplikace. Experimentální část je věnována samotnému návrhu zařízení, konstrukci a jeho složení. V poslední část je popsáno testování vlivu atomárního kyslíku na vznik oxidových vrstev (stechiometricky Ga2O3) na nanokapičkách Ga na křemíkovém substrátu připraveného molekulární svazkovou epitaxí. Chemické složení a morfologie připravených nanostruktur jsou zkoumány metodou XPS, SEM a TEM.
This diploma thesis describes the design, construction, and testing of a thermal atomic oxygen beam source for the growth of thin oxide layers under ultra-high vacuum conditions. The first chapter discusses the theory associated with thermal dissociation and atomic beam formation. Then, the main types of atomic oxygen beam sources and their applications are presented. The experimental part is devoted to the actual design, construction and assembly of the device. The last part describes the testing of the effect of atomic oxygen on the formation of oxide layers (stoichiometrically Ga2O3) on Ga nanodroplets prepared by molecular beam epitaxy on a Si substrate. The chemical composition and morphology of the prepared nanostructures are studied by XPS, SEM and TEM.
Klíčová slova:
atomic source; deposition; Ga; Ga2O3; molecular-beam epitaxy; thermal oxygen atom beam; atomární zdroj; depozice; Ga; Ga2O3; molekulární svazková epitaxe; termální svazky atomů kyslíku
Instituce: Vysoké učení technické v Brně
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Plný text je dostupný v Digitální knihovně VUT. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11012/213393