Original title:
SMV-2020-30: Návrh technologie přípravy a realizace tenkovrstvého systému na vysokoteplotní plastový polymer
Translated title:
SMV-2020-30: Deposition technology and implementation of layer system on high temperature polymer
Authors:
Fořt, Tomáš Document type: Research reports
Year:
2020
Language:
cze Abstract:
[cze][eng] Návrh technologie přípravy a realizace vrstvových systémů na vysokoteplotní plastový polymer s ověřením vhodnosti tohoto polymeru pro PVD technologii, jakou je naprašování, kdy musí být slučitelný s vakuovými požadavky pro depozici a to i při ohřevu dopadajícími atomy deponované vrstvy.We have developed deposition technology and implementation of layer systems deposited on high temperature polymer. We proved compatibility of the high temperature polymer with PVD technology we used. Sputtering requires high vacuum background pressure, it means that polymer material when heating during sputtering must not leak gases.
Keywords:
high temperature polymer; sputtering; thin films
Institution: Institute of Scientific Instruments AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0313878