Název: SMV-2020-30: Návrh technologie přípravy a realizace tenkovrstvého systému na vysokoteplotní plastový polymer
Překlad názvu: SMV-2020-30: Deposition technology and implementation of layer system on high temperature polymer
Autoři: Fořt, Tomáš
Typ dokumentu: Výzkumné zprávy
Rok: 2020
Jazyk: cze
Abstrakt: [cze] [eng]
Návrh technologie přípravy a realizace vrstvových systémů na vysokoteplotní plastový polymer s ověřením vhodnosti tohoto polymeru pro PVD technologii, jakou je naprašování, kdy musí být slučitelný s vakuovými požadavky pro depozici a to i při ohřevu dopadajícími atomy deponované vrstvy. We have developed deposition technology and implementation of layer systems deposited on high temperature polymer. We proved compatibility of the high temperature polymer with PVD technology we used. Sputtering requires high vacuum background pressure, it means that polymer material when heating during sputtering must not leak gases.
Klíčová slova: high temperature polymer; sputtering; thin films

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0313878

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-432542


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Zprávy > Výzkumné zprávy