Název: Comparison of techniques for diffraction grating topography analysis
Autoři: Matějka, Milan ; Rek, Antonín ; Mika, Filip ; Fořt, Tomáš ; Matějková, Jiřina
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /12./, Skalský dvůr (CZ), 2010-05-31 / 2010-06-04
Rok: 2010
Jazyk: eng
Abstrakt: There are a wide range of analytical techniques which may be used for surface structure characterization. For high resolution surface investigations, two commonly used techniques are Atomic Force Microscopy (AFM) and Scanning Electron Microscopy (SEM). Both techniques are capable resolve surface structure down to the nanometer in scale. However the mechanism of topography imaging and type of information acquired is different.
Klíčová slova: AEM; Atomic Force Microscopy; Scanning Electron Microscopy; SEM; topography imaging
Číslo projektu: CEZ:AV0Z20650511 (CEP)
Zdrojový dokument: Proceedings of the 12th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation, ISBN 978-80-254-6842-5

Instituce: Ústav přístrojové techniky AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0190602

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-41923


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Ústav přístrojové techniky
Konferenční materiály > Příspěvky z konference