Název:
Deposition of Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. thin films by double RF hollow cathode plasma jet system
Překlad názvu:
Depozice tenkých vrstev Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. pomocí dvoutryskového RF plazmatického systému s efektem duté katody
Autoři:
Hubička, Zdeněk ; Virostko, Petr ; Olejníček, Jiří ; Deyneka, Alexander ; Adámek, Petr ; Valvoda, V. ; Jastrabík, Lubomír ; Šícha, Miloš ; Tichý, M. Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: International conference on phenomena in ionized gases - ICPIG /28./, Praha (CZ), 2007-07-15 / 2007-07-20
Rok:
2007
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] Low-pressure plasma jet system with two hollow cathodes was used for deposition of BaxSr1-xTiO3 (BSTO) ferroelectric thin films. High density pulse modulated RF hollow cathode discharge was generated in ceramic nozzles made of SrTiO3 and BaTiO3. In the experiment, the composition of BSTO films was controlled by magnitude of average RF power applied on particular plasma jet guns. X-ray diffraction proved that BSTO thin films were polycrystalline with perovskite structure. Time resolved Langmuir probe system and plasma impedance monitor were used for ´in situ´ plasma diagnostics and control of deposition conditions.Nízkotlaký systém dvou plazmových trysek s efektem duté katody byl použit pro depozice feroelektrických tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 (BSTO). V keramických tryskách vyrobených z SrTiO3 a BaTiO3 byl zapálen pulzně modulovaný RF výboj s efektem duté katody. Chemické složení vrstev BSTO bylo kontrolováno pomocí středního výkonu přiváděného na jednotlivé trysky. Rentgenová difrakce potvrdila, že deponované tenké vrstvy BSTO jsou polykrystalické s perovskitovskou strukturou. Časově rozlišená diagnostika Langmuirovou sondou a měřák impedance byly použity pro ´in situ´ kontrolu depozičních podmínek.
Klíčová slova:
BSTO; hollow cathode; plasma deposition; plasma jet; thin films Číslo projektu: CEZ:AV0Z10100522 (CEP), KAN301370701 (CEP), 1QS100100563 (CEP), 1M06002 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR, GA AV ČR, GA MŠk Zdrojový dokument: International conference on phenomena in ionized gases- ICPIG /28./, ISBN 978-80-87026-01-4
Instituce: Fyzikální ústav AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0171898