Original title: Deposition of Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. thin films by double RF hollow cathode plasma jet system
Translated title: Depozice tenkých vrstev Ba.sub.x./sub.Sr.sub.1-x./sub.TiO.sub.3./sub. pomocí dvoutryskového RF plazmatického systému s efektem duté katody
Authors: Hubička, Zdeněk ; Virostko, Petr ; Olejníček, Jiří ; Deyneka, Alexander ; Adámek, Petr ; Valvoda, V. ; Jastrabík, Lubomír ; Šícha, Miloš ; Tichý, M.
Document type: Papers
Conference/Event: International conference on phenomena in ionized gases - ICPIG /28./, Praha (CZ), 2007-07-15 / 2007-07-20
Year: 2007
Language: eng
Abstract: [eng] [cze]
Low-pressure plasma jet system with two hollow cathodes was used for deposition of BaxSr1-xTiO3 (BSTO) ferroelectric thin films. High density pulse modulated RF hollow cathode discharge was generated in ceramic nozzles made of SrTiO3 and BaTiO3. In the experiment, the composition of BSTO films was controlled by magnitude of average RF power applied on particular plasma jet guns. X-ray diffraction proved that BSTO thin films were polycrystalline with perovskite structure. Time resolved Langmuir probe system and plasma impedance monitor were used for ´in situ´ plasma diagnostics and control of deposition conditions. Nízkotlaký systém dvou plazmových trysek s efektem duté katody byl použit pro depozice feroelektrických tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 (BSTO). V keramických tryskách vyrobených z SrTiO3 a BaTiO3 byl zapálen pulzně modulovaný RF výboj s efektem duté katody. Chemické složení vrstev BSTO bylo kontrolováno pomocí středního výkonu přiváděného na jednotlivé trysky. Rentgenová difrakce potvrdila, že deponované tenké vrstvy BSTO jsou polykrystalické s perovskitovskou strukturou. Časově rozlišená diagnostika Langmuirovou sondou a měřák impedance byly použity pro ´in situ´ kontrolu depozičních podmínek.
Keywords: BSTO; hollow cathode; plasma deposition; plasma jet; thin films
Project no.: CEZ:AV0Z10100522 (CEP), KAN301370701 (CEP), 1QS100100563 (CEP), 1M06002 (CEP)
Funding provider: GA AV ČR, GA AV ČR, GA MŠk
Host item entry: International conference on phenomena in ionized gases- ICPIG /28./, ISBN 978-80-87026-01-4

Institution: Institute of Physics AS ČR (web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences.
Original record: http://hdl.handle.net/11104/0171898

Permalink: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-40124


The record appears in these collections:
Research > Institutes ASCR > Institute of Physics
Conference materials > Papers