Název: Measurement of the form of silicon wafers by white-light interferometry
Překlad názvu: Meření tvaru křemíkových desek pomocí interferometrie v bílém světle
Autoři: Pavlíček, Pavel ; Chmelíčková, Hana
Typ dokumentu: Příspěvky z konference
Konference/Akce: SILICON 2008. Scientific and Business Conference /11./, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 2008-11-04 / 2008-11-07
Rok: 2008
Jazyk: eng
Abstrakt: [eng] [cze]
The form of silicon wafer is measured by white-light interferometry with measurement uncertainty about 1 μm. In this way waviness or deviations of the silicon wafers can be measured. Tvar křemíkových desek je měřena pomocí interferometrie v bílém světle s nejistotou přibližně 1 μm. Tímto způsobem je možné měřit zvlnění nebo odchylky křemíkových desek.
Klíčová slova: form; silicon wafer; waviness; white light interferometry
Číslo projektu: CEZ:AV0Z10100522 (CEP), KAN301370701 (CEP)
Poskytovatel projektu: GA AV ČR
Zdrojový dokument: SILICON 2008. 11th Scientific and Business Conference, ISBN 978-80-254-3278-5

Instituce: Fyzikální ústav AV ČR (web)
Informace o dostupnosti dokumentu: Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR.
Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0169715

Trvalý odkaz NUŠL: http://www.nusl.cz/ntk/nusl-39904


Záznam je zařazen do těchto sbírek:
Věda a výzkum > AV ČR > Fyzikální ústav
Konferenční materiály > Příspěvky z konference