Original title:
Measurement of the form of silicon wafers by white-light interferometry
Translated title:
Meření tvaru křemíkových desek pomocí interferometrie v bílém světle
Authors:
Pavlíček, Pavel ; Chmelíčková, Hana Document type: Papers Conference/Event: SILICON 2008. Scientific and Business Conference /11./, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 2008-11-04 / 2008-11-07
Year:
2008
Language:
eng Abstract:
[eng][cze] The form of silicon wafer is measured by white-light interferometry with measurement uncertainty about 1 μm. In this way waviness or deviations of the silicon wafers can be measured. Tvar křemíkových desek je měřena pomocí interferometrie v bílém světle s nejistotou přibližně 1 μm. Tímto způsobem je možné měřit zvlnění nebo odchylky křemíkových desek.
Keywords:
form; silicon wafer; waviness; white light interferometry Project no.: CEZ:AV0Z10100522 (CEP), KAN301370701 (CEP) Funding provider: GA AV ČR Host item entry: SILICON 2008. 11th Scientific and Business Conference, ISBN 978-80-254-3278-5
Institution: Institute of Physics AS ČR
(web)
Document availability information: Fulltext is available at the institute of the Academy of Sciences. Original record: http://hdl.handle.net/11104/0169715