Název:
Measurement of the form of silicon wafers by white-light interferometry
Překlad názvu:
Meření tvaru křemíkových desek pomocí interferometrie v bílém světle
Autoři:
Pavlíček, Pavel ; Chmelíčková, Hana Typ dokumentu: Příspěvky z konference Konference/Akce: SILICON 2008. Scientific and Business Conference /11./, Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 2008-11-04 / 2008-11-07
Rok:
2008
Jazyk:
eng
Abstrakt: [eng][cze] The form of silicon wafer is measured by white-light interferometry with measurement uncertainty about 1 μm. In this way waviness or deviations of the silicon wafers can be measured. Tvar křemíkových desek je měřena pomocí interferometrie v bílém světle s nejistotou přibližně 1 μm. Tímto způsobem je možné měřit zvlnění nebo odchylky křemíkových desek.
Klíčová slova:
form; silicon wafer; waviness; white light interferometry Číslo projektu: CEZ:AV0Z10100522 (CEP), KAN301370701 (CEP) Poskytovatel projektu: GA AV ČR Zdrojový dokument: SILICON 2008. 11th Scientific and Business Conference, ISBN 978-80-254-3278-5
Instituce: Fyzikální ústav AV ČR
(web)
Informace o dostupnosti dokumentu:
Dokument je dostupný v příslušném ústavu Akademie věd ČR. Původní záznam: http://hdl.handle.net/11104/0169715